为便于供应商及时了解政府采购信息，根******大学2025年08月政府采购意向公开（第二批）如下：

序号

采购项目名称

意向编号

采购品目

采购需求概况

预算金额

(万元) 预计采购日期 备注 1 荧光寿命测量系统 YX******2 A******物理光学仪器 开展超快时序光学测量的光谱仪设备，包括条纹变像管，高灵敏度CCD探测器和单色仪等部分，具体参数要求为：光谱相应范围覆盖300-800nm；时间分辨率优于3ps；兼具快扫（50-100MHz）和慢扫(0.1-1MHz)两种模式 300 2025年08月 2 FIB扫描电子显微镜双束系统 YX******3 A******显微镜 "拟购FIB扫描电子显微镜双束系统1套。 主要技术指标： 1、离子束镜筒：液态Ga离子源；分辨率≤3.0nm@30kV；加速电压0.5-30KV（10V步进）；束流1pA-100nA；寿命≥3000μAh；支持实时边切边看。 2、电子束镜筒：肖特基场发射灯丝；分辨率≤0.7nm@15KV、≤1.2nm@1KV（非减速模式）；加速电压0.02-30KV（着陆电压20eV-30keV）；束流稳定性优于0.2%/h。 3、探测器：样品室+镜筒内独立二次电子探测器（镜筒内无需偏压）、环形背散射探测器、2个红外/彩色CCD相机；支持双通道同时成像。 4、能谱仪：SDD硅漂移探测器（100mm2，超薄窗）；元素范围Be4-Cf98；能量分辨率Mn Ka≤127eV、F Ka≤64eV、C Ka≤56eV（@130,000cps，符合ISO 15632:2012）；软件控制自动伸缩。 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 980 2025年08月 3 化学机械平坦化系统 YX******4 A******工艺试验机 "拟购化学机械平坦化系统1套。 主要技术指标： 1、加工尺寸： 支持4、6、8英寸； 2、抛光头转速：最大转速≥200 rpm；误差±1%； 3、抛光头采用直驱电机。加压方式：分区加压控制； 4、抛光头分区：8寸抛光头5zone ；6寸抛光头4zone：4寸抛光头 2zone； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 900 2025年08月 4 激光直写系统 YX******5 A******工艺试验机 "拟购激光直写系统1套。 主要技术指标： 1、最小线宽：≤300±50nm（最小光栅周期：≤600nm） ； 2、线宽均匀性：≤50nm（3σ）@ 300nm 分辨率； 3、线粗糙度：≤30nm（3σ）@ 300nm分辨率； 4、正面对准精度≤250nm （平均值）； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 700 2025年08月 5 原子层刻蚀系统 YX******6 A******工艺试验机 "拟购原子层刻蚀系统1套。 主要技术指标： 1、8英寸向下兼容； 2、射频：频率13.56MHz，上射频额定功率≥1500W，下射频额定功率≤300W； 3、配备ALE快速切换阀，响应时间<30ms； 4、气路总数可达8路，每路入口配有截止阀； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 550 2025年08月 6 误码率分析仪 YX******7 A******集成电路参数测量仪 "拟购误码率分析仪1台。 主要技术指标： 1、支持2-64GBd的码型产生； 2、支持NRZ,PAM4编码方式；支持PRBS7,PRBS15,PRBS31,PRBS51输出； 3、时钟抖动小于300fs； 4、输出幅度为50 mV 至 0.8 Vpp (单端)；100 mV 至1.6 V 差分； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 516 2025年08月 7 电子束蒸镀机 YX******8 A******工艺试验机 "拟购电子束蒸镀机1台。 主要技术指标： 1、温度可以高达1100摄氏度，误差为+/-1%； 2、8”晶圆薄膜沉积均匀性可以达到σ< 1.0%, 49Pts 5mmEE。 3、设备可以运行最大8”晶圆，并向下兼容； 4、设备预留多个功能模块位置，可以方便升级，添加其他功能模块，如磁控溅射、离子刻蚀、PLD等； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 450 2025年08月 8 脉冲激光沉积系统 YX******9 A******工艺试验机 "拟脉冲激光沉积系统1台。 主要规格参数： 1、抽气系统包括进口分子泵(抽速≥650 L/s)和进口涡旋干泵(抽速≥3.1 L/s)，腔体与分子泵之间配有气动闸板阀，本底真空度优于9E-7Pa； 2、靶台：靶材尺寸及数量：φ2英寸×3 个；每个靶材均可实现自转、公转，自转速率≤10 RPM，由电机控制；可在公转方向上摆动扫描，以实现激光对靶材的均匀烧蚀； 3、配备进口RHEED电子枪，电子枪能量最高可达30 KeV，工作气压最高可达0.4 Torr（50 Pa）； 4、配备进口ICP离子源，RF电源功率大于500w，流量计10sccm； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 400 2025年08月 9 大带宽高速时域信号调制分析仪 YX******0 A******集成电路参数测量仪 "拟购大带宽高速时域信号调制分析仪统1台。 主要技术指标： 1、2通道模拟实时带宽≥59GHz； 2、2通道实时采样率≥200GS/s； 3、存储深度 ≥50M； 4、质保：自验收合格之日起两年； 5、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 350 2025年08月 10 反应离子刻蚀机 YX******1 A******工艺试验机 "拟购反应离子刻蚀机1台。 主要规格参数： 1、设备8英寸并向下兼容； 2、可实现对Ⅲ-Ⅴ族材料以及硅基材料的低损伤刻蚀；对SiO2的刻蚀：刻蚀速率>25nm/min； 3、最大刻蚀深度<1mm，对PR的选择比>2.5:1,侧壁倾角88±2°； 4、8英寸范围内刻蚀均匀性<±3%； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 300 2025年08月 11 存储器芯片测试系统 YX******2 A******集成电路参数测量仪 "拟购存储器芯片测试系统1套。 主要规格参数： 1、覆盖8*8阵列芯片的测试，配置16个SMU通道； 2、任意波形发生器：16Bit，8通道，每条通道2G样点波形存储深度，采样率10GS/s； 3、源表：2通道，200V，测量分辨率0.1fA/100nV； 4、最小脉宽：400 ps 5、示波器：8个模拟通道，62.5M记录长度，2.5G带宽； 6、质保：自验收合格之日起两年； 7、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 300 2025年08月 12 频谱分析仪 YX******3 A******集成电路参数测量仪 "拟购频谱分析仪1台。 主要规格参数： 1、频率范围不小于2hz-26.5GHz； 2、实时频谱分析带宽不低于500MHz； 3、总体幅度精度±0.27dB； 4、质保：自验收合格之日起两年； 5、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 264 2025年08月 13 等离子体增强化学气相沉积系统 YX******4 A******工艺试验机 "拟购等离子体增强化学气相沉积系统1套。 主要规格参数：1、反应腔室1套，真空获得系统1套； 2、下电极1套；射频电源及匹配器1套，频率13.56MHz； 3、真空检测系统1套；电气控制系统 1套；控制软件 1套； 3、选配loadlock自动传输系统； 4、选配400kHz低频射频电源； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 230 2025年08月 14 矢量网络分析仪 YX******5 A******集成电路参数测量仪 "拟购矢量网络分析仪1台。 主要技术指标： 1、频率范围不低于10MHz-43.5GHz； 2、端口数量4个；系统动态范围119dB； 3、噪声电平≤-130dBm； 4、相位噪声≤-119dBc/Hz(@10KHz频偏)； 5、迹线噪声 1GHz到40GHz 幅度< 0.008 dB，相位< 0.06°； 6、质保：自验收合格之日起两年； 7、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 230 2025年08月 15 功率器件分析仪 YX******6 A******功率计 "拟购功率器件分析仪1台。 主要技术指标： 1、具有高电压高电流IV测量功能，最大电流1500A，最大电压3KV，且可在1500A和3KV之间进行自动切换； 2、超大电流模块，最大电流±1500A（脉冲），电流测量分辨率为：2mA，最大输出电压±60V，输出脉冲宽度可设置范围为10us至0.5ms； 3、栅极最大输出电压：±30V，最大输出电流：±1A（脉冲模式），±0.1A（DC），最小电流测量分辨率：10pA 4、高压模块性能：最大输出电压范围±3KV，最大输出电流:±8mA；电流测量最小分辨率为：10fA； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 198 2025年08月 16 金相显微镜 YX******7 A******显微镜 "拟购金相显微镜4台。 主要技术指标： 1、光学系统及变焦比：设备需采用远心光学系统，变焦比或变倍比≥10倍。 2、配备不少于4个物镜，放大倍数及参数要求如下： 3倍镜头，放大倍数范围需涵盖45X-400X，数值孔径NA≥0.09，工作距离WD≥30mm 10倍镜头, 放大倍数范围需涵盖150X-1400X，数值孔径NA≥0.30，工作距离WD≥30mm 20倍镜头, 放大倍数范围需涵盖300-2900X,数值孔径NA≥0.40,工作距离WD≥20mm 40倍镜头，放大倍数范围需涵盖600-5800X,数值孔径NA≥0.80,工作距离WD≥4.5mm 3、观察方式包含但不限于：明场、暗场、偏光、明场+暗场、斜射、阴影浮雕、微分干涉； 4、最大样品高度≥70mm。 5、图像采集模块：可采集2D和3D表面形貌图像，可实现2D和3D图像自动拼接功能,获得样品高倍整体形貌； 6、质保：自验收合格之日起两年； 7、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 180 2025年08月 17 相位噪声分析仪 YX******8 A******集成电路参数测量仪 "拟购相位噪声分析仪1台。 主要技术指标： 1、相位噪声测量载波频率范围不小于1MHz-50GHz; 2、相位噪声测量频偏可达1GHz； 3、可完成测试功能包括瞬态测试、VCO测试、AM噪声测试和Alan方差测试； 4、相位噪声测量SSB相位噪声、杂散信号、时间抖动； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 168 2025年08月 18 椭偏仪 YX******9 A******光学测试仪器 "拟购椭偏仪1台。 主要技术指标： 1、测量能力： 全穆勒矩阵 16 个元素、偏振光谱 Psi/Delta、折射率、厚度、双折射 及介电常数等； 2、光谱范围： 210nm-1650nm； 3、膜厚重复性精度： ≦ 0.005nm （100nm SiO2/Si， 30 repeats， 1σ） ；膜厚测量精度： ＜0.5 nm (100nm SiO2/Si)； 4、折射率重复性精度： ≦ 0.0005nm（******,100nm SiO2/Si， 30 repeats， 1σ） ； 5、激光定焦：采用激光测距仪精准探测最佳焦距，实现样品 Mapping 快速扫描测量，采用 x/y 型 Mapping 扫描台，支持 2/4/6/8 寸样件多点定位自动扫描测量，软件一键生成 二维/三维膜厚分布图； 6、质保：自验收合格之日起两年； 7、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 120 2025年08月 19 GPU服务器 YX******0 A******服务器 "拟购GPU服务器1台。 主要技术指标： 1、4颗X86架构CPU， 2.1G, 48C/96T； 2、1TB 内存；12块3.84TB SSD； 3、2个万兆光口； 4、4个48G显存高端AI计算GPU卡； 5、满配冗余电源风扇，含上架导轨； 6、质保：自验收合格之日起两年； 7、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。" 120 2025年08月 20 ESD测试系统 YX******1 A******集成电路参数测量仪 拟购ESD测试系统1套。该系统包括半导体器件及ESD测试平台、中脉冲宽度扩展器及手动探头。 主要技术指标： 1、半导体器件及ESD测试平台：支持短路电流最大40A ；支持开路电压最大2KV；支持上升时间10ns；支持脉冲宽度100ns；支持封装级、晶圆级测试；提供自动测试软件；提供数据分析软件；支持升级VF-TLP/HBM/HMM。 2、中脉冲宽度扩展器：短路电流最大40A ；开路电压最大2KV；上升时间10ns；脉冲宽度100ns。 3、手动探头：探针台主机大小4英寸；移动精度10 微米；三目体式显微镜；目镜倍率20倍；放大倍率16倍~100倍；200万像素高清CCD成像系。 4、质保：自验收合格之日起两年； 5、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。 104 2025年08月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

******大学采购与招标中心

2025年07月04日